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nanotechnologie
microscope interférométrique
En nanotechnologie, la miniaturisation extrême des composants requiert des contrôles de qualité de plus en plus contraignants. Le projet CTI « AFM/IOM » a aboutit à la réalisation d’un microscope combiné, intégrant un microscope interférométrique (IOM) -développé à hepia par le Prof. M. Jobin - dans un microscope à force atomique (AFM) commercial. L’appareil combiné permet de faire des images IOM à large champ de vision (plusieurs mm2) mais avec une résolution verticale nanométrique, puis de venir imager avec l’AFM un éventuel défaut avec cette fois-ci une résolution latérale nanométrique.
La figure ci-dessous montre l’intégration des deux microscopes. L’objectif de Mirau et le translateur piézoélectriques sont les composants-clé de l’IOM.
M. Jobin et R. Foschia, Measurement 41, 896 (2008)